厦门鑫永元机电设备有限公司

二、东元伺服在固晶机的应用
       固晶机上总共采用4套200W伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分别控制X,Y轴传动机构以及键合臂取晶动作。其中要求的为控制键合臂的100W伺服。

三、伺服动作要求
       100W伺服电机通过同步带带动连杆快速正反转实现装有吸晶咀的键合臂做逆时针和顺时针方向位移，逆时针到位后吸晶咀吸取晶元然后顺时针固定晶圆。此动作要求：1.快速定位时，马达要平稳，不能抖动，否则吸晶和固晶的位置会不准确；2.客户要求每个动作周期尽量的快，由此对伺服的响应有较高要求。 
通过伺服增益参数的调整，终可以实现键合臂伺服在3msec内完成整定，整个固晶周期为245msec/颗，获得客户的认可。 
伺服参数设定：

应用优势：
1、维持水压恒定 
2、控制系统可手动/自动运行 
3、多台泵自动切换运行 
4、系统睡眠与唤醒，当外界停止用水时，系统处于睡眠状态，直至有用水需求时自动唤醒 
5、泵组及线路保护检测报警，信号显示等将管网的实际压力经反馈后与给定压力进行比较，当管网压力不足时，变频器增大输出频率，水泵转速加快，供水量增加，迫使管网压力上升。反之水泵转速减慢，供水量减小，管网压力下降，保持恒压供水。